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Title: 表面粗さの評価/パワースペクトル密度と傾きヒストグラム
Authors: 小澤, 亮
Affiliation: 自然科学講座(物理学)
Source title: 福島県立医科大学総合科学教育研究センター紀要
Volume: 3
Start page: 11
End page: 17
Issue Date: 19-Nov-2014
Abstract: 工業製品で使用される金属材料の表面は一見滑らかに見えるが、ミクロに観察すると多数の凹凸で構成されている。この表面粗さは凹凸の間隔、周期、または勾配などで決定されるであろう。今回、Fe-42Ni 合金のトポグラフィーを原子間力顕微鏡を用いて測定した。表面粗さは凹凸の周期性から得られるパワースペクトル密度(PSD)と勾配の分布から得られる傾きヒストグラムを用い評価した。PSD の傾きは1/f^2に比例すること、傾きヒストグラムはガウス分布に良くフィッティングされることがわかった。解析されたPSD から表面の凹凸が隣の高さを起点としたランダムな変動であることが示された。この結果は酔歩に基づきシミュレートされた表面モデルで説明されることがわかった。応用例として、Fe-42Ni 合金を酸化処理することで期待される合金表面の仕事関数変化が表面粗さでどのように評価されたかを示す。
Publisher: 福島県立医科大学総合科学教育研究センター
language: jpn
URI: http://ir.fmu.ac.jp/dspace/handle/123456789/418
Full text URL: http://ir.fmu.ac.jp/dspace/bitstream/123456789/418/1/IcshKiyo_3_p11.pdf
ISSN: 2187-3321
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